工控維修

一、真空計概述

真空計，又稱真空表或真空規(guī)管，是一種專門用于測量氣體壓強或真空度的儀器。它通過測量封閉空間內(nèi)氣體分子運動產(chǎn)生的壓力來間接反映真空度的高低。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中，真空計被廣泛應(yīng)用，用于精確控制真空環(huán)境，確保實驗或生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和精確性。

二、真空計的原理

真空計的工作原理基于不同氣壓下氣體分子的物理效應(yīng)變化。根據(jù)測量原理的不同，真空計主要可分為三大類：利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。

1. 利用力學(xué)性能的真空計

• 波爾登規(guī)（Bourdon Gauge）：利用細(xì)銅管在氣體壓力作用下的舒展現(xiàn)象，帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使指針指示在不同刻度上，從而讀出氣壓值。

• 薄膜電容規(guī)：金屬膜片在不同壓力下變形，導(dǎo)致與電極之間的電容變化，通過測量電容變化量來推算氣壓值。

2. 利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計

• 皮拉尼電阻規(guī)（Pirani Gauge）：利用電阻與溫度的關(guān)系，通過測量熱絲在不同氣壓下保持的溫度變化來推算氣壓。

• 熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)類似，但直接測量熱絲的溫度變化，而不是電阻變化。

3. 利用帶電粒子效應(yīng)的真空計

• 熱陰極電離規(guī)：熱陰極發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，收集產(chǎn)生的離子電流來推算氣壓。

• 冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子，收集離子電流進行氣壓測量。

三、真空計的使用方法

1. 選擇合適的真空計：根據(jù)測量需求選擇合適的真空計型號和量程。

2. 校準(zhǔn)真空計：在使用前進行校準(zhǔn)，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

3. 連接真空計：將真空計連接到被測設(shè)備或容器上，確保連接部位密封性良好。

4. 啟動測量：開啟被測設(shè)備或容器，待其達到穩(wěn)定狀態(tài)后開啟真空計進行測量。

5. 讀取數(shù)據(jù)：穩(wěn)定后讀取真空計顯示的數(shù)據(jù)，注意數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

6. 結(jié)束測量：測量完畢后關(guān)閉真空計和被測設(shè)備或容器，妥善保管真空計。

四、真空計的故障及維修方法

1. 無法啟動

• 檢查電源：確認(rèn)真空計是否插好電源，插頭是否松動。

• 檢查保險絲：查看保險絲是否燒壞，必要時更換。

• 檢查開關(guān)：確認(rèn)開關(guān)位置正確，設(shè)置無誤。

2. 讀數(shù)不準(zhǔn)確

• 檢查連接口：確認(rèn)連接口是否松動，連接是否緊密。

• 檢查量程設(shè)置：確認(rèn)量程設(shè)置是否正確，避免超出測量范圍。

• 檢查傳感器：傳感器損壞可能導(dǎo)致讀數(shù)不準(zhǔn)確，需更換傳感器。



3. 讀數(shù)過高或過低

• 檢查氣體流量：氣體流量異?？赡苡绊懽x數(shù)，需檢查氣體流量是否正常。

• 檢查真空管質(zhì)量：真空管質(zhì)量不佳也可能導(dǎo)致讀數(shù)不準(zhǔn)確，需更換真空管。

4. 漏氣

• 檢查密封性：確認(rèn)真空計和真空管的密封性是否良好，必要時進行密封處理。

• 檢測隱藏漏氣：使用灌注氣體等方法檢測隱藏漏氣點，并進行修復(fù)。

5. 預(yù)防措施

• 定期檢查：定期對真空計進行維護和檢查，確保其正常工作。

• 保持清潔：保持真空計清潔，避免干擾測量結(jié)果。

• 安全操作：注意操作安全，避免操作不當(dāng)導(dǎo)致設(shè)備損壞或安全事故。

五、總結(jié)

真空計作為測量真空度或氣壓的重要工具，在科研和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。了解其工作原理、掌握正確的使用方法以及處理常見故障的方法，對于確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和設(shè)備的穩(wěn)定運行至關(guān)重要。同時，定期維護和檢查真空計也是保證其長期穩(wěn)定工作的關(guān)鍵。

六、容濟機電維修過的真空機品牌和型號、

   1、Inficon

（1）Sky CDG025D: Capacitance Diaphragm Gauge

（2）Sky CDG100D: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）Sky CDG200D: Capacitance Diaphragm Gauge

（4）Skyview: Combination Pirani and Cold Cathode Gauge

   2、Edwards

（1）nEXT系列：nEXT730D，nEXT930D

（2）Active Pirani系列：APG100，APG200

（3）Active Inverted Magnetron系列：AIM-X，AIM-S

   3、Pfeiffer Vacuum

（1）ActiveLine系列：TPR 280，TPR 270

（2）DigiLine系列：DPG 102，DPG 109

（3）Compact系列：PCR 260，PCR 270

   4、MKS Instruments

（1）Granville-Phillips系列：370 Stabil-Ion，375 Convectron，390 Micro-Ion

（2）Baratron系列：627D，629A

（3）PDR系列：PDR2000

   5、Leybold

（1）Thermovac系列：TTR 91，TTR 101

（2）Ceravac系列：CTR 100，CTR 101

（3）Ionivac系列：ITR 90，ITR 91

   6、Agilent Technologies

（1）ConvecTorr: Convectron Gauge

（2）UHV Ionization Gauge: Ultrahigh Vacuum Gauge

（3）FRG-700: Full Range Gauge

   7、Teledyne Hastings

（1）DV-6: Thermocouple Vacuum Gauge

（2）HPM-2002: Digital Vacuum Gauge

（3）HVG-2020B: Digital Vacuum Gauge

   8、Brooks Instrument

（1）5866: Capacitance Manometer

（2）5850: Mass Flow Controller

（3）5863: Digital Pressure Gauge

   9、Kurt J. Lesker

（1）945系列：Inverted Magnetron Gauge

（2）350系列：Pirani Gauge

（3）354系列：Ionization Gauge

   10、ULVAC

（1）G-Tran系列：G-Tran ST1，G-Tran PT1

（2）SW-1系列：SW-1

（3）M-100系列：M-100

   11、InstruTech

（1）B-RAX 3000: Vacuum Gauge Controller

（2）CDG-500: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）IGC100: Cold Cathode Gauge

   12、Thyracont

（1）Smartline系列：VSR，VSP

（2）Digitalline系列：VD8，VD12

（3）Analogline系列：VMA，VPA

   13、Agilent

（1）XGS-600: Gauge Controller

（2）FRG-720: Full Range Gauge

（3）UHV-24: Ultra High Vacuum Gauge

   14、Sens4

（1）VQM-83: Vacuum Quality Monitor

（2）VSM-32: Vacuum Sensor Module

   15、Dycor (AMETEK)

（1）Dycor Quadlink: Residual Gas Analyzer

（2）Dycor 1000: Vacuum Gauge

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